Затравка AlN типоразмера 2 дюйма на пластине TaC
СПЕЦИФИКАЦИЯ
| Описание продукции | Затравка AlN типоразмера 2 дюйма на пластине TaC | |||
|---|---|---|---|---|
| Градация A | Градация B | Градация C | Градация D | |
| Диаметр затравки | 51–54 мм | 51–54 мм | 51–54 мм | 47–54 мм |
| Толщина затравки | > 1мм | > 1мм | > 1мм | > 1мм |
| Диаметр пластины ТаС | 60–62 мм | 60–62 мм | 60–62 мм | 60–62 мм |
| Толщина пластины ТаС | > 3 мм | > 3 мм | > 3 мм | > 3 мм |
| Поверхность роста | AlN | AlN | AlN | AlN |
| Полуширина рентгеновской кривой качания AlN (00.2)1 | < 300 угл. сек. | < 300 угл. сек. | < 300 угл. сек. | < 300 угл. сек. |
| Трещины |
Трещины, возникающие на границе SiC-AlN; 1–2 трещины на поверхности, видимые невооруженным глазом |
Трещины, возникающие на границе SiC-AlN; Несколько (3–4) трещин на поверхности, видимых невооруженным глазом |
Трещины, возникающие на границе SiC-AlN; Несколько (5 и более) трещин на поверхности, видимых невооруженным глазом |
Трещины, возникающие на границе SiC-AlN; 1–2 трещины на поверхности, видимые невооруженным глазом |
| Небольшие отверстия | Проникающие отверстия отсутствуют | Несколько (1–3) проникающих отверстий диаметром 1–3 мм | Наличие проникающих отверстий диаметром 1–2 мм и более | Отсутствие или наличие нескольких проникающих отверстий диаметром 1–3 мм |
| Поверхность | Гладкая поверхность | Гладкая поверхность со слегка неровными областями | Гладкая поверхность с наличием неровных областей | Гладкая поверхность |
| Полезная площадь | > 90% | > 80% | > 60% | > 70% |
| Чистота (концентрация Si и C) |
Si ~ 5 ат.% C ~ 5 ат.% |
Si ~ 5 ат.% C ~ 5 ат.% |
Si ~ 5 ат.% C ~ 5 ат.% |
Si ~ 5 ат.% C ~ 5 ат.% |
1 Параметр измеряется в 5 точках на поверхности затравки.
2 Затравка Градации D может иметь небольшой сегмент, уменьшающий диаметр до 47 мм внутри сегмента.