Монокристаллы карбида кремния (SiC)
Диаметр 2 дюйма, 3 дюйма, 100 мм
СПЕЦИФИКАЦИЯ
| Параметр | Значение | ||
|---|---|---|---|
| Градация A+ | Градация A | Градация B | |
| Диаметр | 50.8 мм | ||
| Диаметр | 76.2 мм | ||
| Диаметр | 100.0 мм | ||
| Политип | 4H | ||
| Высота цилиндрической части | 6–12 мм | 6–12 мм | 6–12 мм |
| Плотность микропор | < 0.2 см-2 | < 0.5 см-2 | < 2 см-2 |