Затравки карбида кремния (SiC)
Политип 4Н
Диаметр 100 мм
СПЕЦИФИКАЦИЯ
| Параметр | Значение | |
|---|---|---|
| Градация A | Градация B | |
| Диаметр, мм | 100.0 ± 0.1 | |
| Толщина, мкм | 500–800 | |
| Легирующая примесь | n-тип: азот | |
| Плотность микропор, см-2 | < 0.2 | < 2 |
| Прогиб, мкм | < 15 | |
| Коробление, мкм/td> | < 8 | |
| Полный разброс по толщине (TTV), мкм | < 8 | |
| Ориентация пластины, ± град. | 4 ± 0.5 к плоскости (0001) | |
| Обработка поверхности | Si –сторона – после шлифовки C –сторона – оптическая полировка |
|
| Длина базового среза, мм | 32.5 ± 1 | |
| Ориентация базового среза, ± град. | <11-20> ± 5 | |
| Длина вспомогательного среза, мм | 11 ± 2 | |
| Ориентация вспомогательного среза, ± град. | Si-сторона: 90±5° по часовой стрелке от базового среза | |
| Удельное сопротивление, Ом*см | ≤ 0.03 | |
| Упаковка | Индивидуальный контейнер | |